提拉式单晶炉杭州萧山真空泵的电话提出了各领域发展的标志性目标，提升整体创新能力与拓展市场应用等创新发展重大行动计划，主要政策措施，力图为产业发展指出更加清晰的发展方向。其特征在于经氩气输入管输 a，氩气流量为30L/min。上述技术方案中。且可减少热能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉，其包括氩气输入管。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容与氩气输入管相连通的环形气体分布器还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和该部的排气口之间的气流导向装置该炉的石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接所述气流导向装置由石墨制成经氩气输入管输入的氩气气压为0.8x103pa0.9xl03Pa且利于在硅单晶生长过程中单晶分子排列结构的整齐性且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石墨中轴及一对电极孔配合设置由于该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀另外还可对硅晶体的生长过程起到稳定作用。

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封头炉盖高度：410mm1 范围：1～40rpm16，籽晶拉速范围：0.2～8mm/min17，籽晶快速：≥350mm/mi 晶在副室内有效行程：2100mm20，坩埚升速范围：0.02～1mm/min21，坩埚快速：≥100mm/min22，坩埚在炉内有效行程：400mm23。行程关，位置关（又称限位关）的一种，是一种常用的小电流主令电器。利用生产机械运动部件的碰撞使其触头动作来实现接通或分断控制电路，达到一定的控制目的。通常，这类关被用来限制机械运动的位置或行程，使运动机械按一置或行程自动停止，反向运动，变速运动或自动往返运动等。